成果名称：集成电路用光掩模石英玻璃基板及精密碳化硅部件
成果介绍：随着近年来集成电路制造装备国产化的进程，光掩模石英玻璃基板和精密碳化硅陶瓷在核心器件中的需求不断增加，目前中国建材总院制备的相关产品已获得需求单位和市场的认可，部分产品实现了进口替代，解决了装备中核心关键零部件的国产化问题，保证了产业链安全。
