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《人民日报》:清华博士扎根碳化硅陶瓷,争做科创“新生代”~

时间 : 2026-06-09

       2026年6月8日,《人民日报》刊发深度报道《奔跑吧,科创“新生代”》一文。文中介绍了中国建材总院所属咸阳陶瓷院青年科研人员刘泽潭主动投身碳化硅陶瓷技术攻关一线,以个人坚守诠释青年担当的故事,一起去看看吧~

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文章节选

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 咸阳陶瓷院 非氧化物陶瓷研究所 工程师 刘泽潭

       2024年清华大学博士毕业的刘泽潭,选择加入中国建材总院咸阳陶瓷研究设计院有限公司,他迫不及待地想为碳化硅陶瓷这一先进材料找到更多落地场景。

       碳化硅陶瓷又硬又刚,几乎不会变形。在热学特性上,它是低膨胀与高导热的完美结合,能承受剧烈的冷热交替而不开裂。这些卓越的“天赋”,让精密碳化硅陶瓷成为半导体制造装备关键部件的理想选择。然而,在参与大尺寸精密陶瓷部件的研发与制备时,刘泽潭发现,实验室与工程化差距巨大。

       有一次,刘泽潭和团队制成的大尺寸精密碳化硅陶瓷成品,在常规标准检测中全部合格。然而,在模拟极限工况的深度测试时,监测系统却突然发出了“某一元素超标”的微量污染报警。

       面对这突如其来的异常,刘泽潭和团队把整个生产流程像“过电影”一样重新复盘。最终,真相大白:问题藏在某道电极加工环节,微量杂质在放电瞬间扩散并嵌入材料内部,造成原子尺度的深层污染。

       精准找到病灶后,刘泽潭和团队迅速出击,及时调整加工工艺,引入全新的加工方式和更高等级的过程控制方案。经过新一轮的严格验证,这一深层污染难题被彻底破解。

       “将实验室里的‘灵光一现’,打磨成支撑大国重器的坚实零件,是如此令人热血沸腾!”刘泽潭对“工程师”这三个字有了更深刻的领悟。

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       刘泽潭的奋斗身影,正是咸阳陶瓷院碳化硅陶瓷团队全体成员的生动缩影,也是总院众多科技工作者坚守实干、逐梦前行的鲜活模样。咸阳陶瓷院碳化硅陶瓷团队是一支以青年为骨干的科研队伍,他们扛起限期完成碳化硅关键部件交付、搭建全链条实验线的双重使命,立足国家半导体产业国产化战略大局,向着技术难关发起全面攻坚。

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碳化硅陶瓷团队科研人员在实验室进行检测与加工

       为保障重大专项高效推进,在咸阳陶瓷院党委统筹部署下,团队落实总院“早细精实、对标对表”的工作作风,建立“周研讨、月调度、季复盘”常态化攻坚机制。每周复盘试验数据、梳理工艺瓶颈;每月对照任务节点查漏补缺、调配资源;每季度总结攻坚成效、排查潜在风险、固化技术成果,以全流程闭环管理为技术突破保驾护航。

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碳化硅陶瓷吸盘

       面对场地紧张、建设条件受限的现实困境,团队成员们主动求变,创新推行“边协调边改造、边研制边生产”并行推进模式。针对半导体装备碳化硅陶瓷部件高精度、高稳定性、高适配性的严苛技术标准,团队成员扎根实验室与生产车间,从配方优化、工艺革新到试验检测、验证落地全流程严格把控,坚持做“难而有价值的事”,以“十年磨一剑”的坚守深耕碳化硅精密成型、超精密加工、非连续面抛光等核心技术,系统补齐行业技术短板,搭建起材料研发到零部件制备的全闭环研发体系。凭借务实过硬的攻坚作风,2024年至今,团队连续两年超额完成各项既定目标,交出了一份亮眼的国产化攻坚答卷。

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碳化硅陶瓷材料实验线

       团队始终坚持将技术创新与产业应用紧密结合,以产业需求牵引研发方向,以成果落地检验创新成效。他们持续推进全链条工艺优化与标准化规程制定,实现材料性能、低应力烧结、超精密加工、高效抛光等关键工艺全面升级,同步高标准推进碳化硅陶瓷材料实验线建设,建成超精密微结构制造、高可靠性焊接、超精密加工、精密检测五大功能模块,实现关键工序自主可控,大幅提升产品交付与产能保障能力。

       如今,团队研发的光刻、量测吸盘及导轨已实现批量供货,成功为国内半导体装备头部企业提供关键部件解决方案。团队先后承担多项国家重点研发项目,授权专利近20 项,斩获多项省部级科技奖励,产品批量应用于国家重点工程,有效降低行业对外技术依赖,为半导体产业国产化筑牢根基。

       “功成不必在我,功成必定有我。”咸阳陶瓷院碳化硅陶瓷团队的每一位成员,都在用实际行动践行着中国建材“材料创造美好世界”的使命和总院“胸怀祖国的大我精神、敢为人先的攻坚精神、守正创新的探索精神、勇担使命的奉献精神”。老专家传技育人,青年人勇挑重担,形成接续奋斗的良好氛围。下一步,团队将聚焦质量、标准、数字化三大方向持续发力,不断推动技术升级与产业发展。

 

以青春赴使命 以实干践担当 

咸阳陶瓷院碳化硅陶瓷团队将始终

坚守科技报国初心

在关键核心技术攻关之路上久久为功

为中国建材集团高质量发展

为我国实现高水平科技自立自强贡献力量

 

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